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    高次谐振微悬臂的有限元设计与分析

    论文编号:
    作者: 郑志月
    刊物名称: 中国科学：技术科学
    所属学科:
    论文题目英文: 高次谐振微悬臂的有限元设计与分析
    年: 2016
    卷: 46
    期: 10
    页: 1086-1096
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